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製品紹介

クリーン イオナイザ製品

静電気対策は、今や生産ラインや研究プロセスにおいて最初に取り掛かる重要な管理項目となっており、周囲の異物を引き寄せるパーティクル対策(ESA:Electrostatic Attraction)としてや静電気放電(ESD:Electrostatic Discharge)による絶縁破壊を未然に防ぐ対策とし、様々な生産環境・生産工程で採用されており、歩留まりの向上や研究開発プロセスの課題解決への必要な対策方法となっています。

弊社のクリーンイオナイザは、半導体業界の微細化(ナノ対応)・3D化(高階層化)に対応し、フラットパネルディスプレイ(FPD)業界では、大型基板(10G〜)・LP-TFT・有機EL(OLED)・量子ドット(Q-Dot)・マイクロLED等の最先端技術の工程に採用され、2次電池(EV)・燃料電池における生産改善の実績もございます。これら静電気に起因する問題を非接触で除電(除塵)・静電破壊防止を行う方法として クリーンイオナイザ での静電気対策を推奨しております。

様々な種類のイオナイザーの中から、最適な静電気の除電(除塵)を実現するためには、適切な機種選定が重要です。疑問・質問および問題解決・改善の提案依頼等、ご遠慮無く弊社へ連絡ください、これまでの経験・知識を活かし 最善の対策案をご提案させて頂きます。

[イオン化原理]
イオナイザとは、エミッタ(放電針又は放電電極)に高電圧を印加しガス分子を絶縁破壊によりイオン化し、+イオンと-イオンを発生させ帯電した物体を逆極性のイオンで中和を行い、静電気を除去する装置です。
又、光によりガス分子を直接イオン化して除電する、軟X線式イオナイザー等もございます。

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