クリーンイオナイザー製品
製品概要
- マニュアルX-Yスライディングテーブル
- マイクロメーターアジャストX-Y‐Θアライメント
- エアブレーキ式XYテーブル
- 4インチフラットバキュームチャック
- キューブビームスプリッターシステム
- モーター駆動ズームレンズ
- ファイバーオプティカル照明
- ニューマティック式Z駆動
- フラックスステーション
仕様
| 精度 | ± 12 μm |
|---|---|
| ピックアップステージ | 2 インチトレー 4 個 |
| ボンディングステージ | 4 インチ バキュームステージ (他のサイズはオプション) |
| ボンド加重 | 30 ～ 200 g スタンダード |
| エアー | 0.42 Mpa |
| 真空 | 68 ｋPa |
| 電源 | 110 V 3 A 50 / 60 Hz |
| サイズ | 762 (D) ×990 (W) ×610 (H) mm |
| 重 量 | 84 kg |
