ペンタイプイオナイザ
MODEL 3080S
新機能パルスエアーの搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。
このペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアーまたは窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。
新機能パルスエアーの搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。
このペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアーまたは窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。
本製品は、従来の仕様に安全回路機能を搭載し「MODEL 307R」としてリニューアル致しました。
安全回路の搭載により高電圧駆動回路の異常を検知すると、アラームにてお知らせし、高圧出力を自動的に遮断する機能を内蔵しました。(高安全設計)
本製品はリチウムイオンバッテリー及びコントロールボードを内蔵し従来のガンタイプイオナイザでは必要だったコントローラー及び高圧ケーブルが不要です。
作業者への負担が少なく電源がない場所でもエアーのみの供給で使用可能となり、作業性及び操作性が向上しました。
また特許取得済の特殊形状ノズルにより小流量のエアーでも従来より遠くまでイオンを運ぶことが可能です。