• 12インチ対応 洗浄装置について
• 全自動洗浄装置 マルチクリーナー SF-300
• FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム　IF-12
• FOUP/FOSB フルオート洗浄システム　UPC-12500（SORA）

12インチ対応 洗浄装置について

• 全自動洗浄装置 マルチクリーナー SF-300

  300mm用FOUP/FOSB対応自動洗浄装置。
  従来機種からのモデルチェンジ、省スペース化を実現し専有面積を大幅に削減。
  またコンパクトながら高スループット化にも対応し、生産プロセスへも貢献。

• 

  FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム　IF-12

  FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。
  IF-12は、1台で各種FOUP / FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。
  ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。

• 

  FOUP/FOSB フルオート洗浄システム　UPC-12500（SORA）

  300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。
  現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。
  SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠しております。