FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12
FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。
IF-12は、1台で各種FOUP / FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。
ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。
12インチ対応 洗浄装置
12インチ対応 洗浄装置について
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FOUP/FOSB フルオート洗浄システム UPC-12500（SORA）
300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。
現代の半導体製造には不可欠な高品質・高スループット・省エネをコンセプトに改良されました。
SEMI規格はもちろん、CE規格にも準拠しております。
