超音波ドライクリーナー
- 超音波ドライクリーナーについて
- LCD/OLED用クリーナー
- 電池用クリーナー
- PCB用クリーナー (プリント基板用）
- フィルム用クリーナー
- ウエハ用クリーナー
- VR/Smart Glass用クリーナー
- 基板クリーナー
- ウェブクリーナー
- 小型クリーナー
超音波ドライクリーナーについて
ワーク表面に付着したミクロン径の異物を、超音波振動エアーによって剥離・回収する非接触式ドライ洗浄技術です。
フラットパネルディスプレイ、半導体、光学フィルム、2次電池など、異物管理が重要な幅広い業界で導入されています。
お客様の工程条件や基材特性に合わせて、最適な装置仕様を設計・製作し、最良のソリューションをご提供します。
［製品の特徴］
非接触の除塵技術：
製造ラインにおいて、基材を直接触れることなく異物を除去するため、傷つけることなく高い精度で清浄化を図ることが可能です。
ミクロンサイズのパーティクルがターゲット：
極めて微細な異物の除去に特化した技術により、クリーンな製造環境を維持することが可能です。
半世紀以上にわたる経験：
半導体、ディスプレイ業界で培った専門技術を活かし、精密機器の製造現場に適した製品をご提供します。
［デモルームと評価サービス］
当社では、製品の性能評価を行うためのデモルーム（クリーンルーム）を東京と大阪に設置しています。
東京デモルーム：クラス100の環境
大阪デモルーム：クラス10000の環境
［デモ機貸出評価サービス］
ユーザーの製造工程で発生する異物・コンタミの問題を実際の環境でテストするための小型デモ機の貸出を行っております。同時に各工程の特性に応じた最適な製品やクリーニング方法をご提案することで、問題解決をサポートいたします。
