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MODEL 3080S
クリーンイオナイザー製品
ペンタイプイオナイザ
MODEL 3080S
新機能パルスエアーの搭載により、更なる除塵率の向上が可能となりました。
このペンタイプイオナイザは、高周波で発生させたイオンをエアーまたは窒素にてシリコンウェハやガラスマスク表面に吹付け、静電気により付着した微細ダストを正確に、素早く除去することが出来ます。
イオン発生とエアー制御スイッチはペン本体のグリップ部分に配置し、操作性・ピンポイント除電/除塵性能が向上しました。
製品概要
- Φ1.5mmの極小ノズルで吹き付け、ピンポイント除電性能が向上
- パルスエアー機能の搭載により除塵率の向上
- 放電針は交換が容易なコネクター方式を採用
- CEマーキング取得済み
仕様
| 型式 | MODEL 3080S |
|---|---|
| 放電方式 | 高周波ACコロナ放電方式 |
| 入力電圧 | AC100V～240V 50Hz/60Hz 電源コード AC100V用付属 |
| 入力電流 | 0.13A MAX(DC24V) |
| 出力電圧 | 2.0kV～ |
| 消費電流 | 0.5A以下 |
| 使用圧力範囲 | 0.05～0.4MPa |
| 使用気体 | クリーンドライエアーまたは窒素 |
| 気体導入口 | Ø6ワンタッチ継手 |
| エアー流量 | 41ℓ/min MAX |
| ガンケーブル長 | 2m |
| 周囲温湿度 | 動作時10～40℃ 35～65％RH 保存時0～40℃ 35～85％RH（氷結 結露なきこと） |
| 外形寸法(mm) | ペン：24.6(W)×181.5(D)×32.2(H) コントローラー：153(W)×181(D)×85.6(H) |
| 重量(g) | ペン：130g コントローラー：600g |
| 付属品 | ACアダプター電源コード（AC100V用3M) |
| 標準放電針 | タングステン針W-3080S |
| オプション | ポリシリコン針P-3080S フットスイッチ |
| 消耗品 | フィルター F-3080S(10本/式） タングステン針W-3080S ポリシリコン針P-3080S |
