EUV POD フルオート洗浄システム　SR-EUV（REN） : ヒューグルエレクトロニクス株式会社

EUV POD フルオート洗浄システム　SR-EUV（REN）

最新の露光技術であるEUV露光に用いられるEUV PODのための全自動洗浄装置（特許取得済）です。Inner POD、Outer PODの分解/再組立はもちろん、各PODは個別の専用CHで洗浄/乾燥されます。
完全無人稼動も可能です。
ナノレベルのパーティクル除去を半導体デバイス容器洗浄装置メーカーとして30年間構築した独自の洗浄/乾燥技術で実現します。