RSP200/150 フルオート洗浄システム　SR-200/150（REN）

レチクル専用容器であるRSP200,及びRSP150のフルオート洗浄システムです。
高い洗浄性能を搭載した本装置はナノレベルのパーティクル除去を実現しております。
精密洗浄、省スペースをメインコンセプトとしており、効率的な生産環境の構築をサポート致します。