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クリーンイオナイザー製品
FOUP/FOSB マニュアル洗浄システム IF-12
FOUPやFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持・向上させる概念が必要不可欠な時代です。
IF-12は、1台で各種FOUP / FOSBの洗浄/乾燥処理が可能です。
ヒューグル独自のチャンバー構造によりいかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要です。
