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クリーンイオナイザー製品
SMIF POD/レチクルPOD マニュアル洗浄システム IA-8
8 インチ用 SMIF POD の精密洗浄・乾燥を目的として開発された前面操作方式のマニュアルセット方式です。
IA-8は半導体デバイスの容器洗浄装置メーカーならではの高度な知識と最新の技術が装備された研究用、パイロットライン等に最適な洗浄・乾燥装置です。
IA-8はカセットの洗浄・乾燥等も可能です。
(その他容器についてもご相談に応じます。）
