クリーンイオナイザー製品

グリップリング

ウェハの拡張状態を保持する為に使用するグリップリングです。

グリップリング
  • グリップリング

製品概要

  • 取り外しが容易
  • 従来のアルミリングに比べ軽量・薄く省スペースを実現します。
  • 12インチまでの各種サイズを取り揃えおります。

仕様

グリップリング一覧表

型式 インナーリング 内径/外径(単位:mm) アウターリング 内径/外径(単位:mm)
GRP-2620-33 115/121 121/127
GRP-2620-44 140/146 146/152
GRP-2620-55 170/178 178/186
GRP-2620-66 195/203 203/210
GRP-2620-88 225/233 233/241
GRA-2180-3b 104/108 108/112
GRA-2180-4e 145/150 150/155
GRA-2180-5c 170/178 178/186
GRA-2180-6a 191/197 197/203
GRA-2180-8a 228/235 235/241
GRA-2180-12a 334/340 340/347