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クリーンイオナイザー製品
ユニバーサルボンドテスター System 650
次世代の高精度ボンドテスター。
ウインドウズベースのソフトウェア“ボンドテストマネージャー”により容易なデータ管理を実現。
またシェアテスト後の破断状況をモニターで確認することができるイメージキャプチャー機能を搭載。300 mm ウェハ上のバンプシェアテスト対応。
製品概要
・標準的なテストからカスタムテストまで、幅広く対応が可能な装置です。
・電動高さ制御顕微鏡付き
・ワイヤープル、ボールシェア、ダイシェア、ツイザープル、スタッドプル、3ポイントベンドテスト、加熱テスト等、様々なテストに対応可能です。
・300㎜ウェハ、リードフレーム対応可能
・ウルトラファインピッチ(UFP)対応
・イメージキャプチャーオプション
・最大200㎏fまでのダイシェア対応
・モジュールツール保護機能
・世界言語をサポート
ボンドテストマネージャー (ソフトウェア)
ボンドテストマネージャーを使用することで、650 の優れた能力を
より幅広く活用することができます。
このソフトは、リアルタイムでのデータ解析及び効率的な
マシンセットアップを可能にします。
また測定結果の min、max、平均、標準偏差、Cpk、X-bar、
レンジの表示が可能です。
イメージキャプチャー
シェアテスト後の状況をモニターで確認する事ができます。
正確な破断状況の解析、保存が可能です。
300 mm ウェハ対応
300 mm ウェハ上のバンプシェアテストを行う事ができます。
仕様
テストモジュール | プライマリーレンジ | サブレンジ | |||
---|---|---|---|---|---|
ワイヤープルモジュール | 100gf | 100gf | 20gf | 50gf | 100gf |
1kgf | 100gf | 200gf | 500gf | 1kgf | |
10kgf | 1kgf | 2kgf | 5kgf | 10kgf | |
ダイシェアモジュール | 20kgf | 2kgf | 5kgf | 10kgf | 20kgf |
200kgf | 20kgf | 50kgf | 100kgf | 200kgf | |
ワイヤーボンドシェアモジュール | 250gf | 25gf | 50gf | 100gf | 250gf |
1kgf | 100gf | 200gf | 500gf | 1kgf | |
5kgf | 500gf | 1kgf | 2kg | 5kgf | |
CBP/ツイーザープルモジュール | 100gf | 10gf | 20gf | 50gf | 100gf |
1kgf | 100gf | 200gf | 500gf | 1kgf | |
10kgf | 1kgf | 2kgf | 5kgf | 10kgf | |
モジュール精度 | 0.15% | ||||
モジュール分解能 | 1:10000 |
システム仕様
内臓PC | 高機能PC標準装備、DVD-CD RWドライブ内臓 |
---|---|
USB、ネットワークポート | |
サーボ駆動 X/Yステージ | スタンダード、305mm×155mm |
X/Y分解能 | 1μm |
Z分解能 | 0.1μm |
位置戻り精度 | 25±1μm |
ループハイト測定 | 可能 |
フォースプロファイル | 可能 |
世界規格対応 | Mil Std 883, Mil Std750, ASTM, JESD22-B117, JESD22-B116 |
CEマーキング、RoHS対応 |
装置本体寸法 及び ユーティリティー
本体寸法 | 高さ-560mm, 25in |
---|---|
幅 -432mm,17in | |
奥行き-585mm,23in | |
重量 | 55kg |
電源 | 110~220VAC 50・60HZ |
ドライエアー | 400~550kPa |
真空 | 67kPa |