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クリーンイオナイザー製品
HS-1840
長年に亘るノウハウの蓄積と多くの販売実績をもとに、顧客の立場に立って開発された HS-1840 ウェハ拡張装置。
ﾓｰﾀｰ駆動ｽﾃｰｼﾞを採用し、使い易さ、精度、汎用性に優れた装置です。
又、ウェハやチップの転写用途にご使用いただくことが可能です。
※この製品はデモンストレーションが可能です。お問合せください。
製品概要
- モーター駆動によるステージ上昇により高精度なストローク設定が可能
- ステージストローク調整機構 (1 mm 単位で設定可能/Max80㎜)
- タッチパネルによるコントロール
- 拡張レシピ保存が可能(4レシピ）
- フィルム予備加熱機構 (タイマー付)
- ステージ加熱 (Max. 100℃)
- ステージ上昇速度可変機構
- フィルムオートカット機構
- 最大ウェハサイズ 8 インチ
- 各種拡張リング、フレーム対応
- ウェハやチップの転写用途に使用が可能
タッチパネルオペレーション
最大4つのレシピの保存が可能
安全対策 アッパークランプ落下防止ダンパー
安全対策 漏電ブレーカー標準装備
仕様
| 電源 | AC 100 V 5 A、 50 / 60 Hz |
|---|---|
| 重量 | 30 kg |
| サイズ | 655 (D) ×386 (W) ×335(H) mm |
