• グリップリング、オートクランプ機構
• ステージ内蔵テープオートカット機構
• タッチパネルによるコントロール
• フィルム予備加熱機構 (タイマー付)
• ステージ加熱 (Max. 100℃)
• ステージストローク調整機構 (Max. 80 mm、1 mm レンジ)
• ステージ上昇速度可変機構
• 最大ウェハサイズ 8 インチ
• 各種拡張リング、フレーム対応
• モーター駆動によるステージ上昇により高精度なストローク設定が可能
• ウェハやチップの転写用途に使用が可能

タッチパネルオペレーション

最大4つのレシピの保存が可能

安全対策　アッパークランプ落下防止ダンパー

安全対策　漏電ブレーカー標準装備