![](/wp/wp-content/themes/hg/assets/images/top/news-lead.jpg)
クリーンイオナイザー製品
HS-7600
ウェハをテープマウントする装置です。
気泡無く均一な貼り付けが可能です。
(最大6インチウェハ対応)
又、ウェハやチップの転写を行うことが可能です。
※この製品はデモンストレーションが可能です。お問合せください。
製品概要
・独自の構造により、ウェハとテープ間に気泡を入れる事なく、均一な貼り付けが可能。
・ウェハ表面 の損傷に十分配慮した特殊ステージ搭載・オペレーターのスキルを必要としない組込み式ローラーの使用により高い再現性を実現。
・ウェハやチップの転写を行うことが可能です。
・国内の弊社工場で受注生産されており、特殊な仕様に対応可能。
- 最大ウェハサイズ 6 インチ
- 各種ダイシングフレーム使用可能
- 最大フィルム幅 HS-7600 : 240 mm
- ステージ温度調整 MAX 100℃
- ダイシングテープ切断機構付
- 貼り付け圧の調整可能
- ウェハやチップの転写が可能
ウェハチャックステージ高さ調整機構
![](/wp/wp-content/uploads/2022/08/6d9e306d113462b43fdf200fe137e5db-300x203.jpg)
![](/wp/wp-content/uploads/2022/08/c8c4cf7e6ea7e5331b880e073c9ee2ab-300x200.jpg)
調整前
![](/wp/wp-content/uploads/2022/08/d9c249e4b2653b63cca7060e8fb98b0e-300x200.jpg)
調整後
低粘着テープ/フィルム吸着バー
![](/wp/wp-content/uploads/2022/08/1350341ea71182ce9330af29b5d7336e-300x203.jpg)
![](/wp/wp-content/uploads/2022/08/9d6f4abcd89160c509542bd4f5cc2f63-300x203.jpg)
テープ吸着の様子
安全対策 天板落下防止ダンパー機構
イオナイザーによる静電気対策可
【イオナイザー使用例】
仕様
電源 | AC 100 V、50 / 60 Hz |
---|---|
電流容量 | 3 A |
真空 | 60 kPa |
寸法 | 700 (D) ×340 (W) ×280 (H) mm |
重量 | 25 kg |