・独自の構造により、ウェハとテープ間に気泡を入れる事なく、均一な貼り付けが可能。
・ウェハ表面 の損傷に十分配慮した特殊ステージ搭載・オペレーターのスキルを必要としない組込み式ローラーの使用により高い再現性を実現。
・ウェハやチップの転写を行うことが可能です。
・国内の弊社工場で受注生産されており、特殊な仕様に対応可能。

• 最大ウェハサイズ　6 インチ
• 各種ダイシングフレーム使用可能
• 最大フィルム幅　HS-7600 ： 240 mm
• ステージ温度調整　MAX 100℃
• ダイシングテープ切断機構付
• 貼り付け圧の調整可能
• ウェハやチップの転写が可能

ウェハチャックステージ高さ調整機構

調整前

調整後

低粘着テープ/フィルム吸着バー

テープ吸着の様子

安全対策　天板落下防止ダンパー機構

イオナイザーによる静電気対策可

【イオナイザー使用例】