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クリーンイオナイザー製品
DC式イオナイザバ ー MODEL 453S
お客様のご要望の通りにミリ単位で製作可能なDC式イオナイザバーです。
半導体やFPD業界の製造装置内への設置もオーダーメイド製作のため簡単に後付け設置可能です。
又、半導体やFPD基板の製造工程や、電子機器の実装工程のクリーンブース/クリーンベンチに設置する事により、静電気による塵埃の付着・放電による製品の破壊を防止できます。
コントローラー部と放電バー間にDC12V信号線を採用する事により、安全性が更に向上しています。
製品概要
- バー寸法は300mm～2500mmまで1mm単位で製作可能
- 最大6台の複数接続可能。個々のイオンバランス調整可能
- FFU（ファンフィルターユニット）のダウンフローのみで除電可能
仕様
| 型式 | MODEL 453S(バー） |
|---|---|
| 入力電流 | 0.2A |
| 出力電圧 | ±4.8kV～±7.0kV |
| 消費電流 | 0.2A以下 |
| バーA寸法（mm) | 300 ～ 2500 (1mm単位） |
| バー接続本数 | 最大6本 |
| 周囲温湿度 | 動作時10～40℃ 35～65％RH 保存時0～40℃ 35～85％RH（氷結 結露なきこと） |
| 外形寸法(mm) | 指定寸法(W)＋14×34(D)×55（H） |
| オプション | MODEL 453S用中間ホルダー MODEL 453S用中間スペーサー ADP 5200 アダプターボックス 4Pモジュラーケーブル |
| 消耗品 | タングステン針:W-453S(電極のみ） WG-453S(電極＋ガード） ポリシリコン針:Ｐ-453S(電極のみ） PG-453S(電極＋ガード） |
| 型式 | MODEL 470R(コントローラー) |
|---|---|
| 放電方式 | ダブルDCまたはパルスDC方式 |
| 入力電圧 | AC100V～AC240V 50Hz/60Hz 電源コード AC100V用付属 |
| 入力電流 | 1.0A |
| 消費電流 | 1.2A以下 |
| パルス幅 | 0.4sec～4.0sec |
| 出力端子 | モジュラーコネクター3口 |
| 警報出力 | クリーニング表示及び信号出力 アラーム表示及び信号出力 |
| 外形寸法(mm) | 154(W)×188(D)×93(H) |
| 重量(g) | 560g |
| 付属品 | ACアダプター電源コード（AC100V用3m) |
